در بسیاری از اتاق‌های تمیز، انتقال گازهای فنی مانند نیتروژن (N₂)، هوای فشرده فوق‌خشک، آرگون، یا گازهای فرآیندی خاص، بخش مهمی از عملکرد سیستم محسوب می‌شود. کیفیت و ایمنی این گازها تاثیر مستقیمی بر فرآیند تولید و محصول نهایی دارد. برای حفظ کیفیت گاز، انتخاب متریال پایپینگ بر اساس سازگاری شیمیایی با گاز و شرایط کاری ضروری است. برای مثال، در گازهای بسیار خالص یا حساس، از استیل ضدزنگ 316L استفاده می‌شود، در حالی که برای برخی گازهای بی‌اثر، از آلیاژهای خاص یا حتی مس بدون درز (Seamless Copper) بهره گرفته می‌شود.

اجرای پایپینگ گاز Cleanroom باید به‌گونه‌ای باشد که آلودگی‌ها به سیستم وارد نشوند. تمامی جوش‌ها باید با فرآیند Orbital Welding Oil-Free و گاز محافظ مناسب انجام شوند، بدون استفاده از گریس یا مواد روانکار قابل تبخیر. قبل از بهره‌برداری، فرآیند Passivation یا Electropolishing می‌تواند اکسید سطحی را حذف کرده و مقاومت در برابر خوردگی را افزایش دهد. تجهیزات باید مطابق استانداردهای CGA و ISO 8573-1 نصب و تست شوند.

در طراحی مسیر، باید حداقل خمیدگی و تغییر قطر لحاظ شود تا افت فشار به حداقل برسد. تجهیزات حیاتی مانند Regulatorها، Point-of-Use Filters و شیرآلات مخصوص گازهای تمیز باید در انتهای خطوط نصب شوند تا کیفیت گاز در نقطه مصرف تضمین شود. همچنین، استفاده از سیستم Purge (شستشوی لوله با گاز بی‌اثر پیش از راه‌اندازی) ضروری است تا ذرات یا رطوبت باقی‌مانده حذف شوند.

مزایای پایپینگ گاز اصولی شامل: بهبود ایمنی، کاهش خطر انفجار یا نشتی، پایداری فشار و دبی گاز، افزایش طول عمر تجهیزات مصرف‌کننده گاز و رعایت الزامات GMP و ISO است. به همین دلیل، بسیاری از صنایع پیشرفته، بخش قابل توجهی از بودجه طراحی و ساخت اتاق تمیز را به این سیستم اختصاص می‌دهند تا از بروز مشکلات کیفی و ایمنی جلوگیری کنند.